日本Technomate增壓泵的部分型號及詳細介紹
1. KPM 系列
KPM-5030
排氣壓力：
外形尺寸：W470×D800×H370mm
重量：110公斤
No1：4MPa，流量12L/min
No2：2MPa，流量3L/min
產(chǎn)品概要：可同時排放兩個不同壓力的獨立輸出，適用于CSP等的切割、去毛刺等操作，一臺設(shè)備即可完成。放電操作由外部信號獨立執(zhí)行。
規(guī)格：
用途：CSP劃片、去毛刺等。
KPM-40B
排氣壓力：No1 4MPa，流量12L/min；No2 2MPa，流量3L/min
外形尺寸：W470×D800×H370mm
重量：110公斤
產(chǎn)品概要：一種內(nèi)置氣動柱塞泵的高壓水發(fā)生裝置，適合安裝在集氣壓調(diào)節(jié)器、氣壓表、排氣壓力表等為一體的裝置中。
規(guī)格：
用途：用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
2. KPW 系列
KPW-20
純水、IPA：FKM
NMP：Kalrez
排氣壓力：0.98~9.8MPa
排出流量：1.13L/min
驅(qū)動氣壓：0.05~0.5MPa
耗氣量：約70L(泵沖程數(shù)為60SPM時)
濕密封：
用途：用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
KPW-30
純水、IPA：FKM
NMP：Kalrez
排氣壓力：1.47~14.7MPa
排出流量：0.71L/min
驅(qū)動氣壓：0.05~0.5MPa
耗氣量：約70L(泵沖程數(shù)為60SPM時)
濕密封：
用途：用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
KPW-37.5
純水、IPA：FKM
NMP：Kalrez
排氣壓力：1.76~17.6MPa
排出流量：0.58L/min
驅(qū)動氣壓：0.05~0.5MPa
耗氣量：約70L(泵沖程數(shù)為60SPM時)
濕密封：
用途：用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
3. FSBL 系列
FSBL-50
純水、IPA：氟橡膠
NMP：Kalrez
排氣壓力：2.5~25MPa
排出流量：1.68L/min
驅(qū)動氣壓：0.05~0.5MPa
先導氣壓：0.3~0.5MPa
濕密封：
用途：用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗。
4. PU 系列
PU300A
外部切斷動作時溢流閥自動切換內(nèi)部循環(huán)溢流動作壓力0.5MPa
循環(huán)水溫上升檢測動作溫度50℃
過電流/漏電保護功能斷路器動作
泵：級聯(lián)不銹鋼泵，400W
排出流量：13L/min(50Hz)/16L/min(60Hz)，在0.5MPa壓力下
適用流體：純凈水
遙控功能：水泵運行/停止指令，DC24V
安全操作：
電源：AC200V ±10%，3Φ，50/60Hz，1.2kVA
外形尺寸：W228×H336×D520mm
重量：約25公斤
使用環(huán)境：室內(nèi)，溫度10~35℃，濕度30~80%
用途：各種清洗設(shè)備、切粒機主軸電機冷卻、去毛刺等。
PU201A
外部切斷動作時通過泄壓閥自動切換內(nèi)循環(huán)泄壓動作壓力5Kgf/cm²
循環(huán)水溫上升檢測動作溫度50℃
過電流/漏電保護功能斷路器動作
泵：級聯(lián)不銹鋼泵，200W
排出流量：17L/min(50Hz)/9L/min(60Hz)，在4Kgf/cm²壓力下
適用流體：純凈水
遙控功能：水泵運行/停止指令，DC24V
安全操作：
電源：AC100V ±10%，50/60Hz，8A
外形尺寸：W210×H245×D390mm
重量：約15公斤
用途：各種清洗設(shè)備、切粒機主軸電機冷卻、去毛刺等。
5. SSBL 系列
SSBL-20
用途：用于晶片IPA清洗或利用溶劑的剝離等高壓應用。
SSBL-37
用途：用于晶片IPA清洗或利用溶劑的剝離等高壓應用。
6. UPPU 系列
UPPU-10LR
用途：用于需要低水壓供應水并進行增壓的設(shè)備。
更新時間：2025-07-24 
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