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更新時(shí)間：2024-01-04 
瀏覽次數(shù)：434德國(guó)sonosys
與卡爾斯魯厄研究中心 (IMT) 合作，為位于 Rüschlikon 的 IBM 公司檢查了硅微機(jī)械結(jié)構(gòu)的
兆聲波清洗。這些芯片厚 500 µm，長(zhǎng) 3 mm，其正面有一個(gè)厚 5 µm、長(zhǎng) 300 µm 的獨(dú)立硅
懸臂梁。尖頭垂直集成在硅懸臂上（用于掃描探針顯微鏡中的應(yīng)用）。檢查的目的是去除表
面的抗蝕劑殘留物，而不損壞極其脆弱的硅梁或尖的端。
清洗前的激光結(jié)構(gòu)化薄膜 | 使用兆聲波能量清潔后的激光結(jié)構(gòu)化薄膜 |
Kapton 薄膜上覆蓋有約 1 層主涂層。1 µm 厚，通過(guò)激光進(jìn)行結(jié)構(gòu)化。左圖所示的燒蝕殘留
物需要去除。清潔是在室溫下在含有潤(rùn)濕劑的軟化水中以 10 W/cm2 的強(qiáng)度進(jìn)行的。
可以去除燒蝕而不會(huì)對(duì)結(jié)構(gòu)或底涂層造成任何損壞。
Megasonic 支持清洗前的硅懸臂芯片 | 兆聲波支持清洗后的硅懸臂芯片 |
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